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項目的核心技術(shù)是“高純納米球形硅微粉”材料的生產(chǎn)制造技術(shù)，包括完全自主知識產(chǎn)權(quán)的全套硅微粉材料生產(chǎn)設(shè)備設(shè)計制造和生產(chǎn)工藝技術(shù)。這一國際領(lǐng)先的創(chuàng)新性技術(shù)采用高純多晶硅為原材料，在高溫條件下蒸發(fā)形成液化納米球體并經(jīng)氧化而生產(chǎn)“高純納米球形硅微粉”材料。與現(xiàn)有傳統(tǒng)的硅微粉生產(chǎn)技術(shù)采用石英礦為原料，原料需先經(jīng)過機械粉碎加工和篩選以及化學(xué)處理去雜質(zhì)等復(fù)雜的前期加工工藝技術(shù)相比較，我們的創(chuàng)新生產(chǎn)技術(shù)具有工藝簡便生產(chǎn)成本低、工藝可控球形率高、粉體粒徑分布好等優(yōu)點。 “高純納米球形硅微粉”作為環(huán)氧塑封料（Epoxy Molding Compound，EMC）中的填料主要應(yīng)用于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路芯片封裝產(chǎn)業(yè)，同時廣泛應(yīng)用于大面積電子基板、日用化妝品、航空航天、精細化工、特種陶瓷等高新技術(shù)領(lǐng)域，市場前景廣闊。盡管近年來中國在球形硅微粉生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域取得明顯進步，但產(chǎn)品在純度、粒度以及產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性方面與國外產(chǎn)品相比還存在一定的差距，特別是“高純納米球形硅微粉”材料，目前我們主要還需從國外進口。 為了解決這一“卡脖子”技術(shù)難題，我們技術(shù)團隊通過多年努力，成功地開發(fā)出了國內(nèi)獨創(chuàng)和國際領(lǐng)先的“高純納米球形硅微粉”材料生產(chǎn)制造技術(shù)。目前我們的技術(shù)已達到產(chǎn)業(yè)化水平。初試生產(chǎn)的產(chǎn)品已經(jīng)過相關(guān)部門的檢測，已達到了日本進口的相關(guān)頂級產(chǎn)品的標準與要求。本項目的順利實施，可填補我國“高純納米球形硅微粉”材料領(lǐng)域的技術(shù)和產(chǎn)業(yè)空白，實現(xiàn)“國產(chǎn)替代進口”，為我國高端半導(dǎo)體集成電路芯片封裝產(chǎn)業(yè)提供優(yōu)質(zhì)和可靠的原材料保障。 【展開】 【收起】